ST300沉厚铜工艺控制表
流程 |
药水名称 |
开缸量 |
补加量/100m2 |
控制范围 |
控制点 |
温度℃ |
时间min |
搅拌 |
换缸m2/L |
缸体材料 |
加热器材 |
连续过滤 |
膨松软化 |
ST 201 |
20% |
5.0L |
18-22% |
20% |
65-75 |
8-10 |
摇摆/振荡 |
20-25 |
钛或PP |
钛/石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
NaOH |
40g/L |
800g |
35-45g/L |
40g/L |
水洗′2 |
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2-3 |
摇摆 |
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除胶渣 |
ST 202M |
60g/L |
1600g |
50-70g/L |
60g/L |
75-85 |
12-18 |
打气/摇摆/振荡 |
50-60 |
钛/铁弗龙/SS316 |
钛/
铁弗龙 |
连续过滤 |
NaOH |
40g/L |
1500g |
35-45g/L |
40g/L |
水洗′3 |
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3-5 |
打气/摇摆 |
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中和 |
ST 203 |
10% |
2L |
8-12% |
10% |
45-55 |
4-6 |
摇摆 |
8-10 |
PE/PP |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
H2SO4 |
5% |
1.5L |
4-6% |
5% |
水洗′2 |
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1-2 |
打气/摇摆 |
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碱性除油 |
ST301 |
3% |
0.4L-0.6L |
2-5% |
3% |
50-70 |
5-7 |
摇摆/振荡 |
20-25 |
PP |
SS |
连续过滤 |
水洗′2 |
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1-2 |
摇摆 |
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微蚀 |
ST302 |
30ml/L |
0.6L |
25-35ml/L |
30ml/L |
25-35 |
1-3 |
打气/摇摆 |
Cu2+>25g/L |
|
|
连续过滤 |
H2O2 |
80ml/L |
6.0L |
70-90ml/L |
80ml/L |
H2SO4 |
100ml/L |
5.0L |
90-110ml/L |
100ml/L |
水洗′2 |
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1-2 |
打气/摇摆 |
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预浸 |
ST 304A |
100% |
ST304B
2.0Kg |
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20-35 |
2-4 |
摇摆 |
Cu2+>2.0g/L |
|
|
连续过滤 |
催化 |
ST 305 |
3% |
500-900ml |
2-4% |
3% |
25-40 |
5-8 |
摇摆/振荡 |
Cu2+>1.0g/L |
PVC |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
ST 304A |
97% |
|
96-98% |
97% |
水洗′2 |
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|
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|
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|
1-2 |
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加速 |
ST306A |
10% |
1.0L |
8-12% |
10% |
35-45 |
3-5 |
摇摆 |
Cu2+>1.0g/L |
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|
连续过滤 |
水洗′2 |
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1-2 |
摇摆 |
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沉厚铜 |
ST308A |
5% |
50-60L |
Cu:1.75-2.5g/L |
2.0 g/L |
38-42 |
28-32 |
打气/摇摆/振荡 |
|
PVC |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
ST308B |
7% |
50-60L |
NaOH:8-12 g/L |
10 g/L |
ST308M |
10% |
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HCHO:3-5 g/L |
4 g/L |
水洗′2 |
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1-2 |
打气/摇摆 |
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备注：1. 除胶渣速率控制在20-60mg/dm2/浸缸时间。 2. 微蚀速率控制在0.5-1.5u”/min。 3. 沉铜速率控制在1.0-2.0um/30min浸缸时间(厚铜)
ST300沉铜工艺控制表
流程 |
药水名称 |
开缸量 |
补加量/100m2 |
控制范围 |
控制点 |
温度℃ |
时间min |
搅拌 |
换缸m2/L |
缸体材料 |
加热器材 |
连续过滤 |
膨松软化 |
ST 201 |
20% |
5.0L |
18-22% |
20% |
65-75 |
8-10 |
摇摆/振荡 |
20-25 |
钛或PP |
钛/石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
NaOH |
40g/L |
800g |
35-45g/L |
40g/L |
水洗′2 |
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2-3 |
摇摆 |
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|
除胶渣 |
ST 202M |
60g/L |
1600g |
50-70g/L |
60g/L |
75-85 |
12-18 |
打气/摇摆/振荡 |
50-60 |
钛/铁弗龙/SS316 |
钛/
铁弗龙 |
连续过滤 |
NaOH |
40g/L |
1500g |
35-45g/L |
40g/L |
水洗′3 |
|
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|
3-5 |
打气/摇摆 |
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|
中和 |
ST 203 |
10% |
2L |
8-12% |
10% |
45-55 |
4-6 |
摇摆 |
8-10 |
PE/PP |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
H2SO4 |
5% |
1.5L |
4-6% |
5% |
水洗′2 |
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1-2 |
打气/摇摆 |
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|
碱性除油 |
ST301 |
3% |
0.4L-0.6L |
2-5% |
3% |
50-70 |
5-7 |
摇摆/振荡 |
20-25 |
PP |
SS |
连续过滤 |
水洗′2 |
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|
1-2 |
摇摆 |
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|
微蚀 |
ST302 |
30ml/L |
0.6L |
25-35ml/L |
30ml/L |
25-35 |
1-3 |
打气/摇摆 |
Cu2+>25g/L |
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|
连续过滤 |
H2O2 |
80ml/L |
6.0L |
70-90ml/L |
80ml/L |
H2SO4 |
100ml/L |
5.0L |
90-110ml/L |
100ml/L |
水洗′2 |
|
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|
|
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1-2 |
打气/摇摆 |
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|
预浸 |
ST 304A |
100% |
ST304B2.0Kg |
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|
20-35 |
2-4 |
摇摆 |
2.0g/LCu2+ |
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|
连续过滤 |
催化 |
ST 305 |
3% |
500-900ml |
2-4% |
3% |
25-40 |
5-8 |
摇摆/振荡 |
1.0g/LCu2+ |
PVC |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
ST 304A |
97% |
|
96-98% |
97% |
水洗′2 |
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|
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|
|
|
1-2 |
|
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加速 |
ST306 |
10% |
2.5L |
8-12% |
10% |
20-30 |
3-5 |
摇摆 |
0.5g/LCu2+ |
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|
连续过滤 |
水洗′2 |
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1-2 |
摇摆 |
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沉薄铜 |
ST307A |
7% |
15-20L |
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24-28 |
15-25 |
打气/摇摆/振荡 |
|
PVC |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
ST307B |
8% |
15-20L |
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|
ST307M |
8% |
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|
|
水洗′2 |
|
|
|
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|
1-2 |
打气/摇摆 |
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|
沉厚铜 |
ST308A |
5% |
50-60L |
Cu:1.75-2.5g/L |
2.0 g/L |
38-42 |
28-32 |
打气/摇摆/振荡 |
|
PVC |
石英/
铁弗龙 |
连续过滤 |
ST308B |
7% |
50-60L |
NaOH:8-12 g/L |
10 g/L |
ST308M |
10% |
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HCHO:3-5 g/L |
4 g/L |
备注：1. 除胶渣速率控制在20-60mg/dm2/浸缸时间。2.微蚀速率控制在0.5-1.5u”/min。3.沉铜速率控制在15-25μ2/浸缸时间(薄铜)
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